防腐型氣相抗粘系統  表面改性超疏水設備典型應用

表面改性超疏水、親水處理工藝

表面改性

MEMS表面抗粘合層

半導體制造和封裝涂層

DNA微陣列

生物兼容性改性

親水 微流體薄膜

疏水保護薄膜

提高表面粘附性

無機氧化物原子沉積

納米壓印：脫模劑全氟辛基三氯硅烷PFTS/全氟葵基三氯硅烷FDTS氣相沉積

生物芯片：硅烷增粘氣相沉積,KH-570硅烷偶聯劑,甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷,KH-550氨丙基三乙氧基硅烷

光電AR/VR的防粘膜沉積

防腐型氣相抗粘系統  表面改性超疏水設備配置

溫控系統：RT-200℃，高精度溫控器+RSS回路控制，防超溫保護裝置

氣路系統：1-3路選配。

反應腔室：耐高溫、耐酸、堿、氯、氟化物腐蝕材料制成

真空系統：采用耐腐蝕無油真空泵維持低氣壓環境，可達1Torr以下

尾氣排放：收集尾氣，集中排放至處理管道

控制系統：人機界面，監控工藝參數。

安全系統：集成自動加注藥液系統和微電腦控溫模塊，實現真空抽排、氮氣置換、溫度控制的全流程自動化?。一鍵式操作界面支持多組程序存儲，滿足2英寸至12英寸晶圓，方片、碎片等的差異化處理需求?。

上海雋思儀器，硅烷氣相沉積設備包含增粘劑硅烷(HMDS等）、抗粘硅烷沉積、脫模硅烷（PFTS、FDTS）沉積、表面改性修飾硅烷處理等，精密熱板、HMDS預處理系統烘箱、智能型HMDS真空預處理系統烘箱、MSD超低濕烘箱、無塵烘箱、潔凈烘箱，氮氣烘箱、無氧烘箱、無塵無氧烘箱、真空烘箱、真空儲存柜、超低溫試驗箱、超低濕氮氣烘箱等設備。